#литография

ТЕХНОЛОГИИ· 20 июля

В Зеленограде разработали установку электронно-лучевой литографии для микроэлектроники

Зеленоградский нанотехнологический центр завершил создание опытного образца литографа для работы с проектными нормами 150 нм. Оборудование предназначено для производства фотошаблонов и прямой записи рисунка на подложки, что является значимым шагом для локальной полупроводниковой промышленности.

1 мин · 👁 1

ТЕХНОЛОГИИ· 18 июня

Учёный из Окинавы предложил радикально упростить EUV‑литографию

Профессор Цумору Синтакэ из OIST разработал новую схему high‑NA EUV‑системы с линейной геометрией, где фотомаска, оптика и кремниевая пластина находятся на одной оси. Это может существенно снизить стоимость производства передовых микрочипов.

1 мин · 👁 1