В Зеленограде разработали установку электронно-лучевой литографии для микроэлектроники
В Зеленограде разработали отечественную установку электронно-лучевой литографии. Новая технология позволяет создавать микрочипы с топологическими нормами 150 нанометров без использования дорогостоящих фотошаблонов, что является важным шагом для технологического суверенитета страны.









