В Зеленограде разработали установку электронно-лучевой литографии для микроэлектроники
Зеленоградский нанотехнологический центр завершил создание опытного образца литографа для работы с проектными нормами 150 нм. Оборудование предназначено для производства фотошаблонов и прямой записи рисунка на подложки, что является значимым шагом для локальной полупроводниковой промышленности.
1 мин